STRUCTURAL AND MORPHOLOGICAL CHANGES IN THE SURFACE OF THIN-FILM ELEMENTS OF Α-SI BY THERMAL EXPOSURE

Journal" Herald of KRSU", 2015 year, Tom 15, no 9, p. 73- 76. UDC 539.213.27

Information about authors:

Паров Станислав Владимирович – зав. лабораторией физики твердого тела кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-559) 469669, e-mail: Oneonxsort@mail.ru
Маленова Айшоола Маленовна – магистрант кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-700) 236644, e-mail: aika.malen@mail.ru
Макаров Владимир Петрович – д-р физ.-мат. наук, профессор кафедры физики и микроэлектроники КРСУ, тел.: (996-777) 635795, e-mail: makarov44@rambler.ru

СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Паров С.В., Маленова А.М., Макаров В.П.

Abstract in Russian:

Приведены результаты исследования влияния термического воздействия на поверхностную структуру пленок аморфного кремния.

Keywords in Russian:

аморфный кремний; напыление; нагрев; а

СТРУКТУРНЫЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Α-SI ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Паров С.В., Маленова А.М., Макаров В.П.

Astract in Kyrgyz :

Keywords in Kyrgyz:

аморфный кремний; напыление; нагрев; а

STRUCTURAL AND MORPHOLOGICAL CHANGES IN THE SURFACE OF THIN-FILM ELEMENTS OF Α-SI BY THERMAL EXPOSURE

Parov S.V., Malenova A.M., Makarov V.P.

Abstract in English:

It presents the results of investigation of thermal effects on the surface structure of amorphous silicon films.

Keywords in English:

amorphous silicon; spraying; heating; analysis

Copy the output according to GOST

Download

Parov S.V. STRUCTURAL AND MORPHOLOGICAL CHANGES IN THE SURFACE OF THIN-FILM ELEMENTS OF Α-SI BY THERMAL EXPOSURE / S.V. Parov, A.M. Malenova, V.P. Makarov // Herald of KRSU. 2015. T. 15. No 9. S. 73- 76.